TY  - RPRT
TI  - Solid-state micro sensors.
AU  - M Esashi
AU  - T Matsuo
PY  - 1987
DO  - 10.1007/978-94-009-3361-3_13
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/3627026/
ID  - 3627026
ER  -