TY - RPRT TI - Soft X-ray multilayer beam splitters. AU - T Haga AU - M C Tinone AU - M Shimada AU - T Ohkubo AU - A Ozawa PY - 1998 DO - 10.1107/s0909049597019389 UR - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/15263621/ ID - 15263621 ER -