TY  - RPRT
TI  - Finer features for functional microdevices.
AU  - S Kawata
AU  - H B Sun
AU  - T Tanaka
AU  - K Takada
PY  - 2001
DO  - 10.1038/35089130
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/11507627/
ID  - 11507627
ER  -